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產(chǎn)品中心
光學(xué)測(cè)量?jī)x器
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產(chǎn)品分類熱輔助磁記錄介質(zhì)的非接觸HAM/RTAMR評(píng)估系統(tǒng)( 顯微鏡/測(cè)振/磁光克爾) 產(chǎn)品總覽 產(chǎn)生磁場(chǎng)±6.5T的熱(Thermal)輔助磁記錄介質(zhì)(HAMR或TAMR)非接觸評(píng)估系統(tǒng)。
1um高分辨率光束質(zhì)量分析儀 350-1310nm 產(chǎn)品應(yīng)用 激光光束分析:輪廓,光束尺寸,位置,功率 激光光束質(zhì)量分析 多波長(zhǎng)激光準(zhǔn)直
用于寬帶深紫外 (DUV) 和 EUV / XUV 光的旋光儀(偏振儀) 產(chǎn)品總覽 (Polarimeter for broadband deep UV (DUV) & EUV / XUV light ) 深紫外和極紫外范圍內(nèi)的旋光儀具有科學(xué)應(yīng)用。我們提供的旋光儀系統(tǒng)可提供數(shù)百個(gè)垂直取向偏振方向的消光比。旋光儀可根據(jù)您的應(yīng)用需求進(jìn)行定制。旋光儀系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊,符合 UHV 等級(jí)。
高速波前傳感器 400-800nm 光束直徑2.0-4.6mm 產(chǎn)品總覽 PULSTEC該傳感器基于Shack-Hartmann方法,能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量光源和光學(xué)像差。
2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 產(chǎn)品總覽 具有高分辨率和效率的多功能光譜儀 隨著在半導(dǎo)體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展,極紫外輻射(EUV、XUV)已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導(dǎo)致對(duì)高分辨率和靈敏的診斷和測(cè)量技術(shù)的需求。